Unsere Forschungs- und Entwicklungsabteilung arbeitet zielgerichtet in Zusammenarbeit mit unseren Kunden um deren Anforderungen auch in der Zukunft zu erfüllen und dem technischen Fortschritt Rechnung zu tragen.
Im Wesentlichen decken unsere Entwicklungsleistungen folgende Bereiche ab:
- Entwicklungen und Modifikationen im Kundenauftrag. Hierbei werden Produkte exklusiv im Kundenauftrag neu – oder weiterentwickelt, um diese für neue Prozessanforderungen einsetzen zu können:
Aktuelle Beispiele hierzu sind:
- Modifizierte ESC's für 100 mm Wafer
- Definierte Yttria - Beschichtungen AIN ESCs´
- Modifikation der Oberfläche von Vakuum Chucks
- Definierte Keramikbeschichtungen auf vormals nur anodisierten Bauteilen
- Ersatz von Bauteilen aus Aluminium durch keramische Werkstoffe
- Entwicklungen als Ergebnis eigener umfangreicher Marktstudien und Beobachtungen, welche V.OX-TEC konsequent zum Vorteil unserer Kunden nutzt:
Aktuelle Beispiele hierzu sind:
- Einführung und Optimierung von keramischen Beschichtungen
- Keramische ESCs´
- Rework von P- und C-Chucks
Wir stellen uns der Herausforderung, für unsere Kunden kosteneinsparungspotentiale zu erschließen.
V.OX-TEC verfügt über umfangreiche Ausrüstungen und exklusive Test-Tools um neue wie aufgearbeitete und/oder modifizierte Produkte praxisnah zu testen. Unsere modernes Test Equipment wird dabei ständig weiterentwickelt und den Anforderungen unserer Kunden angepasst.