Unter Rework versteht man die mech.- bzw. chem.- Instandsetzung von Prozessteilen, welche nicht mehr den Anforderungs-Parametern der OEMs´ entsprechen. Durch den Rework erhalten die Bauteile wieder Charakteristiken, die Neuteilen sehr gleich kommen. Und damit nun wieder eine vergleichbare Lebenszeit aufweisen.
Sowohl für unsere Neuteile wie auch im Rework bieten wir Ihnen unterschied-
lichste Oberflächenbeschichtungen in der gewohnten Halbleiterqualität.
- Teflonbeschichtungen, sonst. Polymerbeschichtungen
- Keramik- und Plasma-Beschichtung
(Yttria-Beschichtung) - Eloxalbeschichtung, Anodisieren in definierten Schichtstärken und Hartanodisierung
Y₂O₃ – Beschichtung der Zukunft
Yttria gehört thermodynamisch gesehen zu einem der stabilsten Keramiken. OEMs´ nennen daher diese Beschichtung nicht zu unrecht die „Beschichtung der Zukunft".
Alle führenden Halbleiter-Fabs,
qualifizieren und setzen bereits Yttria in weiten Bereichen der Prozesse ein.
Folgende Attribute sprechen für Yttria:
- Geringe Entwicklung von Partikeln
- Chemische Resistenz
- Hohe Standzeiten
- Kombinationen von Yttria und
anderen Anodizierungen sind möglich - Hohe Leitfähigkeit
