Durch den Einsatz von technischen- keramischen Bauteilen ist es möglich die verschiedensten Anforderungen zu
erfüllen. Eigenschaften wie hohe Reinheit, Temperaturstabilität, hohe statische Stabilität, extrem verschleißfester und hoher elektrischer Widerstand, machen es möglich Keramik gerade in der Halbleitertechnik universell einzusetzen.
Beispiele für Keramische Werkstoffe sind:
- Oxid-Keramik (A12O3)
- Nichtoxid-Keramik (SIC usw.)