Die Firma V.OX-TEC GmbH fokussierte sich von Beginn an auf den Halbleitermarkt. Zu den ersten Produkten zählten im Allgemeinen Ersatzteile für Produktionsanlagen in den verschiedenen Prozessen, im Front-End Bereich.
Die wesentlichen Prozesse sind hier Plasma-/ Nassätzen, Abscheidung (CVD, PVD), Implantation und Epitaxie. Zu den verarbeiteten Werkstoffen zählen
Edelstahl, Titan, Teflon und Sonder-
materialien wie Refraktärmetalle (z.B. Molybdän) und Polyimide.
Es folgten Verbesserungen und Modifi- kationen, um den hohen Anforderungen der Wafer-Fabs gerecht zu werden.
Heute hat sich die Firma V.OX-TEC auf die Entwicklung und industrielle Herstellung
von Ersatzteilen und Systemen für die Halbleitertechnik sowie deren Aufarbeitung, Reinigung und Beschichtung spezialisiert.