Rework

Unter Rework versteht man die mechanische bzw. chemische Instandsetzung von Prozessteilen, welche nicht mehr den Anforderungs-Parametern der OEMs´ entsprechen. Durch den Rework erhalten die Bauteile wieder Charakteristiken (Lifetime), die Neuteilen sehr gleich kommen.

Das Reworkangebot der Firma VOXTEC umfasst neben Prozesskammern und sog. Consumable Parts auch zahlreiche Typen von E-Chucks und eine Vielzahl anderer Bauteile rund um den Wafer.

Umfangreiche Tests (optisch, elektronisch, messtechnisch) im Rahmen von Ein- und Ausgangskontrollen sichern die Qualität unserer Reworks. Funktionstests werden im eigenen Teststand durchgeführt und Informationen mit dem Kunden geteilt. Z.B. He-Leackage, Temperaturverteilung, Fehlerstrommessung, Durchschlagsfestigkeit und Chuckspannung im Bereich +/- 5000 Volt.

Weitere Testkammern für Heater und Teststände für Vakuumchucks sind im Einsatz.

Der Rework erfolgt streng nach Kundenvorgabe, Herstellerspezifikationen und lückenloser Protokollierung. Funktionsparameter und Lebensdauer entsprechen in allen wesentlichen Eigenschaften denen eines Neuteils. Modifikationswünsche werden berücksichtigt.

Rework ist für unsere Kunden eine bedeutende Möglichkeit zur Kostenreduzierung.