Oberflächentechnik / Beschichtungen

Durch die stetig steigenden Anforderungen an die Bauteileigenschaften gewinnt die Oberflächentechnik zunehmend an Bedeutung. Die verschiedenen Einsatzbereiche der Bauteile im Bereich der Halbleiterindustrie (z.B. Ätzen, Sputtern, Implantation, Photolithographie) erfordern unterschiedliche Eigenschaften der Beschichtungen.

Die vorgestellten Beschichtungen von Bauteilen aus dem Lieferprogramm von V.OX-TEC ermöglichen den Einsatz in unterschiedlichsten Anwendungsbereichen (unterschiedliche Prozesse in der Wafer- bzw. Chipfertigung) und bestimmen die Eigenschaften der Beschichtungen und deren Funktionen:

  • Elektrische Isolierung
  • Korrosionsschutz
  • Verschleißschutz
  • Schutz vor Kontamination
  • Elektrische Ankopplung
  • Reflektion
  • Schutz vor mechanischen Beschädigungen

Folgende Beschichtungsverfahren werden bei V.OX-TEC angewendet:

Thermische Spritztechnik / Anodisieren / Galvanisieren / Chromatieren / PVD-Beschichtungen / CVD-Beschichtungen / Kunststoffbeschichtungen