Consumable Parts / Chamber Parts

Alle Bauteile, die in den verschiedensten Prozess-Bereichen eingesetzt werden, haben eine bestimmte Lifetime (Etch, CVD, PVD, CMP, Lithographie, Implant). Prozessbedingt, durch den Einsatz verschiedenster Chemikalien, entsprechen die meisten Bauteile nach vorgegebenen RF Stunden nicht mehr den gültigen Parametern und müssen getauscht werden. Unterschiedliche Einsatzgebiete erfordern unterschiedliche Werkstoffe, Legierungen und spezifisches Bearbeitungs-Know-How. Die Firma V.OX-TEC verarbeitet fast alle Werkstoffe, wie:

  • Edelstahl (1.4305/1.4301)
  • Aluminium (6060,6061,5754,6082..)
  • Refraktärmetalle (Mo,Ta,Wo)
  • Polyimide (z.B.Vespel SP1),
  • Peek UHP,
  • PTFE, POM, Teflon, Delrin
  • Oxid-Keramik (A12O3),
  • Nichtoxid-Keramik (SIC usw.)
  • Graphit
  • Silicium (Si),
  • Siliciumkarbid (SiC)

Zu den Produkten im Halbleiterbereich zählen prozessrelevante Bauteile wie Prozesskammern, Shields, Handler, Schrauben, Abdeckungen usw. bis hin zum Elektrostatischen Chuck System (ESC). 

AMATLAMTEL
Endura
Centura
P5000
Enabler
Producer
TCP
Alliance
Rainbow
Auto-Etch
Unity
DRM
SCCM

Trikon, Novellus, Axcellis, Aviza, Tegal.. usw.. 

Wir erfüllen unseren Kunden fast alle Wünsche. Fragen Sie auch nach Legacy Parts für Ihre Anlagen.