Unternehmen

Die Firma V.OX-TEC GmbH & Co. KG fokussierte sich von Beginn an auf den Halbleitermarkt. Zu den ersten Produkten zählten Ersatzteile für Produktionsanlagen in den verschiedenen Prozessen, vor allem im Front-End Bereich:

  • Plasma-/ Nassätzen
  • Abscheidung (CVD, PVD)
  • Implantation und Epitaxie

Zu den verarbeiteten Werkstoffen zählen Edelstahl, Titan, Teflon und Sondermaterialien wie Refraktärmetalle (z.B. Molybdän) und Polyimide.

Es folgten Verbesserungen und Modifikationen, um den hohen Anforderungen der Wafer-Fabs und OEMs´ gerecht zu werden.

Heute hat sich die Firma V.OX-TEC auf die Entwicklung und industrielle Herstellung von Ersatzteilen und Systemen für die Halbleitertechnik sowie deren Aufarbeitung, Reinigung und Beschichtung spezialisiert.