V.OX-TEC GmbH & Co. KG

VOXTEC gehört seit über 20 Jahren zu den qualifizierten Zulieferanten für Prozessteile, Consumable Parts für die Halbleitertechnik (ETCH, CVD, PCD, IIP..), sowie für die Solar und Aerospace-Industrie.

Als international anerkannter Second-Source Lieferant für die Halbleitertechnik liegt der Fokus der Firma VOXTEC speziell auf:

  • CNC Mechanische Fertigung
  • Kleinserien
  • Modifikationen
  • Präzisionsfertigung
  • Rework
  • Messtechnik
  • Oberflächenbehandlung
  • Beschichtungen
  • Reinigung inkl. Copper Area
  • Reinraumverpackungen

Von den verschiedenen Anlagenbauteilen der OEMs, wie AMAT, LAM, Novellus, TEL.., hat sich das Unternehmen auf die Produktion, Rework und deren Reinigung spezialisiert. Dazu gehören ua. Clampringe, DPS Kammern, Ätzkammern, Shields, Liner, Fokus Ringe, Carrier, Schrauben uvm. und natürlich die Aufarbeitung und Fertigung von Electrostatic Chucks (SLT ESC, MCA ESC, Polyimid E-Chuck..).

VOXTEC ist der Partner für verschiedenste Beschichtungsverfahren. Nach Kundenwunsch oder Spezifikation werden verschiedensten Baugruppen durch Sputtern, Anodisierung, Hartanodisierung, Plasma-, Yttria- und Teflon-Beschichtungen uvm. nach Anforderung bearbeitet.

Als Second-Source Lieferant bieten wir verschiedene Kosteneinsparungspotenziale durch Modifikationen, F&E, spezifisches Fertigungs-Know-How und Refurbishment an. Natürlich gehört die Planung und Umsetzung von Konsignationslager dazu.